3軸触覚センサー「ショッカクチップ™」概要紹介

最小、最薄、最軽量の3軸触覚センサー

ショッカクチップ™は、MEMS技術を活用した微細加工により製造された高感度で小型の3軸触覚センサーです。
2mm角のシリコンチップ上に微細なピエゾ抵抗を3軸方向に配置することで、3軸方向の力の高感度検知を実現しています。

MEMS技術を活用した高感度で小型の3軸触覚センサーMEMS技術を活用した高感度で小型の3軸触覚センサー

ショッカクチップの特徴

従来の触覚センサーは圧力の検出がメインであり、せん断力(滑り方向の力)を検出するためには隣り合うセンサー出力の時間変化から算出するなどの工夫が必要でした。一方、ショッカクチップTMを使えば、センサー1つで3軸方向の力を直接計測することができます。また、ショッカクチップ™自体が非常に小型・薄型であるため、平面だけでなく曲面にも実装することができ、実装密度も自由に変えられます。さらに、シリコンチップを包んでいる外装の材質を変えることで、接触時の柔らかさとセンサー感度を自由に設定できます。

タイプ名 製品外観 特徴 定格荷重 ステータス
SPタイプ SP22-FFC15

型番:SP22-FFC15

TSタイプ比較で30%の小型化と同時に高感度化を実現した新製品。
低荷重領域での3軸力計測に最適化され、破壊防止機構とモーメント抑制機構も内蔵。
圧力 2N
せん断力 ±2N
販売中
TSタイプ TSSI OD10 C10

型番:TSSI OD10 C10

ピエゾ抵抗をツインビーム方式で各軸に配置し量産性の確保と温度補償機構の内蔵に成功。外装樹脂は耐熱性、耐薬品性に優れ低歪みのシリコンゴムを採用。ケーブルサイズは標準で100mm。
圧力 40N
せん断力 ±8N
販売中
TSSI OD10 FPC19、TSSI OD10 FPC38

型番:TSSI OD10 FPC19、TSSI OD10 FPC38

TSSIのフレキタイプ。標準長さは190mmと380mm。
圧力 40N
せん断力 ±8N
販売中
6Dタイプ SPタイプと同等サイズの6軸力センサ

SPタイプと同等サイズの6軸力センサ。

3軸力センサはせん断力と圧力を検知しますが、6軸力センサはそれに加えて各軸のモーメント(トルク)力を計測できます。
Q2/2017

オプション部品

CHP-AMB-CN
CHP-AMB-FPC
CHP-EB-8 CHP-GUI-1
CHP-AMB-CN、CHP-AMB-FPC CHP-EB-8 CHP-GUI-1

専用アンプ基板

ショッカクチップから出力される電圧の変化量を増幅します。
ゼロ点オートバランス機能付き。

8Ch 評価ボード

アンプ基板から出力されるアナログ値をA/D変換し、USBコネクタからシリアル通信でPCへ出力します。8チャンネル同時接続可能、無線ポート付。(Bluetoothモジュールは別売り)
ショッカクチップ専用GUI XYZ各軸の力と温度ゲージTの数値を表示。せん断力をベクトル、圧力を色で表現するグラフィック付。
CSV形式でのデータ保存も可。(標準は1ch表示)
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